Зюльков И.Ю. Гикавый А.Я.
Эпитаксиальный рост напряженного SiGe в атмосфере дисилана и дигермана
Докладчик: Зюльков И.Ю.
Файл тезисов: | Тезисы Кремний 2014.doc |
Файл презентации: | Презентация.ppt |
К списку докладов
Файл тезисов: | Тезисы Кремний 2014.doc |
Файл презентации: | Презентация.ppt |