Голишников, Александр Анатольевич
Ведущий инженер, Кандидат технических наукНаучно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ
Россия, 124498 , Москва, г. Москва, г. Зеленоград, проезд 4806, д.5, к. 7237
Телефон: + 7 499 734-4521 , Факс: + 7 495 913-2192
Доклад
- Путря М.Г.*, Панкратов О.В.*, Голишников А.А.**, Рыбачек Е.Н.**
Метод формирования кремниевых нанопроволочных ионно-чувствительных транзисторных структур
*Национальный исследовательский университет МИЭТ (Москва), Россия
**Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Москва), Россия