Back
Demidov Y.A.
Чаплыгин Ю.А.
Shevyakov V.I.
Belov A.N.
Golishnikov A.A.
Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
Reporter:
Shevyakov V.I.
Abstracts file:
Тезисы_Шевяков.doc
To reports list
Comments
Name:
Captcha: