Back
Коробов, Сергей Владимирович
ОАО "НИИ молекулярной электроники"
http://www.mikron.ru/
Russia, 124460, Moscow, Зеленоград, 1й Западный проезд, 12/1
Phone: +7(495)2297279, Fax: +7(495)2297280
Report
Matyushkin I.V.
*
,
Коробов С.В.
*
,
Михайлов А.Н.
**
,
Тетельбаум Д.И.
**
Cellular automata simulation of the processes of secondary defect formation under ion implantation
*
ОАО "НИИ молекулярной электроники" (Moscow), Russia
**
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Nizhniy Novgorod), Russia
To participants list