Back
Minushev, Airat
Физико-технологический институт РАН
Russia, Moscow
Report
Makhviladze T.
*
,
Minushev A.
*
,
Сарычев М.Е.
**
Advanced model of the copper CMP process for silicon nanotransistor technology
*
Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia
**
Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia
To participants list