Ахметов, Тимур Каримович
АспирантКазахстанско-Британский технический университет
http://www.kbtu.kz
Казахстан, 050000, Алматы, г. Алматы, ул. Толеби, 59
Телефон: +7(727) 2504655, Факс: +7(727) 3334175
Доклад
- Нусупов К.Х.*, Бейсенханов Н.Б.*, Жариков С.К.*, Бейсембетов И.К.*, Кенжалиев Б.К.*, Ахметов Т.К.*, Сейтов Б.Ж.*
Формирование тонких пленок SiC на подложках Si методом ионно-лучевого распыления
*Казахстанско-Британский технический университет (Алматы), Казахстан