Шандриков М.В.   Оскомов К.В.   Бугаев А.С.   Визирь А.В.   Окс Е.М.  

Влияние рабочего давления планарного магнетрона на свойства медных пленок

Докладчик: Шандриков М.В.


К списку докладов