Шабунин, Артем С
ИнженерНациональный исследовательский Томский политехнический университет
Россия, Томск
Доклад
- Николаев М.В.*, Юрьева А.В.**, Шабунин А.С.***
Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью
*Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск), Россия
**Томский политехнический университет (Томск), Россия
*** Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск ), Россия