Николаев, Михаил Вячеславович
СтудентНациональный исследовательский Томский политехнический университет
http://www.tpu.ru/
Россия, 634050, Томск, пр. Ленина, 30
Телефон: 8(3822)563443, Факс: 8(3822)563443
Доклад
- Николаев М.В.*, Юрьева А.В.**, Шабунин А.С.***
Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью
*Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск), Россия
**Томский политехнический университет (Томск), Россия
*** Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск ), Россия