Онищенко, Сергей Александрович
Младший научный сотрудникИнститут сильноточной электроники СО РАН
http://www.hcei.tsc.ru
Россия, 634055, Томск, пр. Академический, 2/3
Телефон: +7(382-2) 49-15-44, Факс: +7(382-2) 49-24-10
Доклад
- Гренадёров А.С.*, Онищенко С.А.*, Оскомов К.В.*, Работкин С.В.*, Соловьев А.А.*
Повышение прочности вакуумной изоляции с использованием диэлектрических кремний-углеродных пленок
*Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), Россия