Сиделёв, Дмитрий Владимирович
Томский политехнический университет
http://www.tpu.ru
Россия, 634050, Томск, пр.Ленина, 30
Телефон: +7 (3822) 56-34-70, Факс: +7 (3822) 56-38-65
Доклад
- Блейхер Г.А.*, Юрьева А.В.*, Кривобоков В.П.*, Сиделёв Д.В.*
Высокоскоростное магнетронное осаждение металлических покрытий с испарением мишеней
*Томский политехнический университет (Томск), Россия