Юрьева, Алёна Викторовна
Томский политехнический университет
http://www.tpu.ru
Россия, 634050, Томск, пр.Ленина, 30
Телефон: +7 (3822) 56-34-70, Факс: +7 (3822) 56-38-65
Список докладов
- Блейхер Г.А.*, Юрьева А.В.*, Кривобоков В.П.*, Сиделёв Д.В.*
Высокоскоростное магнетронное осаждение металлических покрытий с испарением мишеней
*Томский политехнический университет (Томск), Россия - Николаев М.В.*, Юрьева А.В.**, Шабунин А.С.***
Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью
*Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск), Россия
**Томский политехнический университет (Томск), Россия
*** Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск ), Россия