Горобчук, Алексей Геннадьевич
Старший научный сотрудник, Кандидат физико-математических наукИнститут вычислительных технологий СО РАН
http://www.ict.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Академика Лаврентьева, д.6
Телефон: +7(383) 330-61-50, Факс: +7(383) 330-63-42
Доклад
- Горобчук А.Г.*
Математическое моделирование плазмохимических процессов в микроэлектронике
*Институт вычислительных технологий СО РАН (Новосибирск), Россия