Назад
Шабунин, Артем С
Инженер
Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Россия, Томск
Доклад
Николаев М.В.
*
,
Юрьева А.В.
**
,
Шабунин А.С.
***
Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью
*
Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск), Россия
**
Томский политехнический университет (Томск), Россия
***
Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск ), Россия
К списку участников