Yurjeva, Alena
Tomsk Polytechnic University
http://www.tpu.ru
Russia, 634050, Tomsk, pr. Lenina, 30
Phone: +7 (3822) 56-34-70, Fax: +7 (3822) 56-38-65
Reports list
- Bleykher G.*, Yurjeva A.*, Krivobokov V.*, Sidelev D.*
High-rate magnetron deposition of metallic coatings with target evaporation
*Tomsk Polytechnic University (Tomsk), Russia - Nikolaev M.V.*, Yurjeva A.**, Shabunin A.***
Magnetron sputtering system with liquid phase target
*Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Tomsk), Russia
**Tomsk Polytechnic University (Tomsk), Russia
*** Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск ), Russia