Игнатов, Данил Юрьевич
АспирантИнститут сильноточной электроники СО РАН
http://www.hcei.tsc.ru
Россия, 634055, Томск, пр. Академический, 2/3
Телефон: +7(382-2) 49-15-44, Факс: +7(382-2) 49-24-10
Доклад
- Лопатин И.В.*, Ахмадеев Ю.Х.*, Петрикова Е.А.*, Крысина О.В.*, Игнатов Д.Ю.*
Система для ионно-пучковой обработки поверхности на основе несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом
*Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), Россия