Login

XIII Международная конференция «Газоразрядная плазма и её применение»

5–7 сентября 2017, Новосибирск, Россия

Gorobchuk, Aleksey Gennadyevich

Senior Research Scientist, Ph.D. in Physics and Mathematics

Institute of Computational Technologies SB RAS
http://www.ict.nsc.ru
Russia, 630090, Novosibirsk, Acad. Lavrentjev Ave., 6
Phone: +7(383) 330-61-50, Fax: +7(383) 330-63-42

Report

• Gorobchuk A.G.^*
  Numerical modeling of plasma-chemical processes in microelectronics
  ^*Institute of Computational Technologies SB RAS (Novosibirsk), Russia
  

To participants list