Горобчук, Алексей Геннадьевич
Научный сотрудник, Кандидат физико-математических наукИнститут вычислительных технологий СО РАН
http://www.ict.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Академика Лаврентьева, д.6
Телефон: +7(383) 330-61-50, Факс: +7(383) 330-63-42
Доклад
- Горобчук А.Г.*
Численная модель плазмохимической технологии травления полупроводников
*Институт вычислительных технологий СО РАН (Новосибирск), Россия