Рыхлицкий, Сергей Владимирович
Заведующий лабораторией, Кандидат технических наукИнститут физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
http://www.isp.nsc.ru/
Россия, 630090, Новосибирск, пр. ак. Лаврентьева, 13
Телефон: +7(383) 333-27-66, Факс: +7(383) 333-27-71
Доклад
- Рыхлицкий С.В.*
Эллипсометрическая диагностика тонкопленочных приборных структур твердотельной техники
*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия